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阿尔卡特干泵ADP/ADS系列

   ADP/ADS系列2产品的四种型号可满足不同真空要求,环境清洁的工艺应用可选择LM型,轻型或中型应用要求可选择P型,H型可供苛刻要求的工艺环境选择。许多来自半导体工业的主要制造商已经选择这一产品,这一选择使他们大大缩短了计划外停l工期,从而节约了运行成本,提高了利润率。

特点:

处理能力可靠性高宽交叉槽可容纳大量粉尘和颗粒精l确而闭合的温控系统、高操作温度以及从进口到出口的气体温度的线性增长各级采取立式抽吸防止吹扫腔中粉尘聚集




水环泵也有其缺点:效率低,一般在30%左右,较好的可达50%。真空度低,阿尔卡特真空泵零售,这不仅是因为受到结构上的限制,阿尔卡特真空泵,更重要的是受工作液饱和蒸气压的限制。用水作工作液,极限压强只能达到2000~4000Pa。用油作工作液,可达130Pa。总之,由于水环泵中气体压缩是等温的,故可以抽除易着火、易暴的气体。由于没有排气阀及摩擦表面,故可以抽除带尘埃的气体、可凝性气体和气水混合物。有了这些突出的特点,尽管它效率低,仍然得到了广泛的应用。




目前国内外的罗茨泵,多数为卧式结构,泵的进气口在上,排气口在下,阿尔卡特真空泵批发,这种卧式结构重l心低,高速运转时稳定性好。罗茨泵的两个转子是通过一对高l精度的齿轮来实现其相对同步旋转的。

泵的传动多为直联式的,大泵则有皮带传动的。电动机与传动齿轮,多设在转子轴的两侧,阿尔卡特真空泵供应,安装拆卸方便。主动轴传递的扭矩较大,轴要有足够的强度和刚度,轴与转子要固结牢靠。罗茨泵的密封很关键,主动轴外伸部分、两个转子的轴承与泵腔之间设有动密封,泵腔与各端盖设有静密封。




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