分子泵

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，阿尔卡特真空泵代购，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，阿尔卡特真空泵代理，以满足不同场合的需要。

Leybold莱宝真空泵主要型号Leybold莱宝真空泵主要型号:

SOGEVAC系列单级油封璇片真空泵：SV10 SV16 SV25 SV40 SV65 SV100 SV200 SV300 SV500 SV580 SV630 SV750 SV1200

TRLVAC C系列双级油封璇片泵：D2 D4 D8 D9 D16 D25 D30 D40 D60 D65 D90

RUVAC系列罗茨泵：WA/WAU   /

德国Leybold莱宝真空泵性能参数德国Leybold莱宝真空泵性能参数:

抽速：16m 3 /h---1400m 3 /h

极限真空度：SV16，SV25，SV40，SV65，SV100的极限真空度为<0.5 mbar (无气镇分压强)

<1.5 mbar (带气镇分压强)

SV200，SV300，SV500，SV630，阿尔卡特真空泵出售，SV750，SV1200，SV1400的极限真空度为

<8*10 -2 mbar (无气镇分压强)

<7*10 -1 mbar (带气镇分压强)

排水蒸气能力：0.3--23公斤/小时

选型真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，文昌阿尔卡特真空泵，使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围，至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到很好的配置，选择真空系统时，应考虑下述各点：首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围，必须认真研究确定之。

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