爱德华 E2M28 油封式旋片真空泵特性与优势

●该泵为自由放置的装置。

●传动由一个单相或三相（四极）电机通过活动联结器提供。

●电机是全封闭的，通过电机冷却风扇进行冷却。

●易于使用控制。

●具有集成式油封口的压力压铸油箱可防止油泄露。

●气镇阀具有非常高的水蒸汽输送能力。

●经外部机构检验，符合 EN61010、CSA、C22.2 和 UL61010 标准。

●油分配阀。

●增压室是气密的。

●油品观察窗、两个油排放塞、进气口和出气口喷嘴都作为标配提供。

●气镇控制。

* PFPE 是随 NW25 出口连接一起提供的

** 所列带 IEC 连接器的泵

分子泵

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，爱德华E2M275真空泵销售，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，真空泵销售，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。

粗真空系主要用来抽除空气和其它有一定腐蚀性、不溶于水、允许含有少量固体颗粒的气体。广泛用于食品、纺织、医l药、化工等行业的真空蒸发、浓缩、浸渍、干燥等工艺过程中。该型泵具有真空度高、结构简单，爱德华E2M80真空泵销售，使用方便、工作可靠、维护方便的特点。主要用于粗真空。抽气量大的工艺过程中。它主要用来抽除空气和其它无腐蚀，爱德华E2M175真空泵销售，不溶于水，含有少量固体颗粒的气体，以便在密闭容器中形成真空。所吸气体中允许混有少量液体。它被广泛应用于机械、制药、食品、石油化工等行业中。是获得粗真空的主要真空设备之一。广泛应用于化工、食品、建材等部门，特别是在真空结晶、干燥、过滤、蒸发等工艺过程中更为适宜。

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